近年来，利用电子束和γ射线辐照处理苯、苯酚、氯酚废水的方法开始兴起。在电离辐射的照射下，水分子会生成一系列具有很强活性的辐射分解产物，这些产物与废水中的有机物发生反应，可以使之分解或改性。辐照去污使用的γ射线源通常是射线能量较高的钴-60放射源，而电子束是由电子加速器产生。与γ辐射源相比，电子束照射具有能量输出高、可随时开闭、安全性能更高等优点，使用寿命在30年以上，特别适用于大型试验和实际应用。
辐照法处理废水的优点是:降解效率高、反应速率快、适用范围广;反应物降解为CO2和H2O,无二次污染;辐照在常温常压下进行，工艺简单，运行费用较低。
下面我们以三种轻工业废水为例来看看辐照技术处理工业废水的特点。
辐照酒精废液，能加快其过滤性和槽渣的沉降性，同时，辐射能有效地杀死废液中的微生物或抑制其生长，从而能延长发造的储存时间，防止腐化变质，并能减少废液排放所造成的自然水体中藻类的大量繁殖和耗氧。
辐射对造纸废水种的木质素喝色度去除率较高，有利于废水的再生化处理，可辅助提高生化处理了效果。
对于含有活性和离子型染料的印染废水，辐射的脱色效果理想，与其他方法结合使用，还可以提高有机物处理效果，同时降低辐射剂量。
