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原子光刻新闻
上海光源成功制备出超精密纳米光栅并获批国家一级标准物质
近日，国家市场监督管理总局正式发文批准了同济大学、中国科学院上海应用物理研究所(上海光源团队)和中国计量科学研究院联合研制的超精密纳米光栅成为国家一级标准物质。
2021-05-10
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