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并行电子束新闻

并行电子束可用于光刻与检测领域 在芯片检测方面发展空间大

并行电子束应用在光刻领域，可实现纳米级别加工，是一种高精度加工方式，在全球众多实验室中应用广泛。并行电子束与电子束相比，其曝光速度得到提升，但稳定性仍存在一定缺陷，因此并行电子束光刻设备规模化应用受到限制，在光刻领域难以与EUV光刻机等相抗衡。 2022-02-18
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